Introduzione del bersaglio di sputtering di Tantalum

Jun 12, 2025 Lasciate un messaggio

Cos'è Tantalum Target?

 

Target Tantalum è un materiale realizzato in metallo tantalum di alta purezza o in lega di tantalio, che viene utilizzato principalmente in vari processi di deposizione di film sottili. Il bersaglio di Tantalum è noto per la sua eccellente resistenza alla corrosione, elevato punto di fusione e biocompatibilità ed è ampiamente utilizzato in molti campi ad alta tecnologia come elettronica, semiconduttori, rivestimenti anticorrosivi e attrezzature mediche.

 

Proprietà fisiche e chimiche

 

Le principali proprietà fisiche del bersaglio di Tantalum includono:

 

Punto di fusione: 3290K (3017 gradi)

 

Punto di ebollizione: 5731K (5458 gradi)

 

Densità: 16.68G\/cm³

 

Durezza: alta durezza, duttilità e resistenza alla corrosione

 

Stabilità chimica: Tantalum non reagisce con Aqua Regia, adatto alla produzione di attrezzature chimiche e dispositivi medici

 

Metodo di preparazione

 

Il metodo di preparazione del bersaglio tantatalum di solito include i seguenti passaggi:

 

1. Metallurgia della polvere: il metodo di riduzione termica del sodio viene utilizzato per produrre polvere di tantalio con una dimensione delle particelle di 2-3 micron.

 

2.

 

3. Sintering: la sinterizzazione viene eseguita in condizioni di un vuoto maggiore di 1*10^-2 MPa e una temperatura maggiore di 2400 gradi, con un tempo di mantenimento superiore a 1,5 h.

 

4. Rolling e trattamento termico: la billetta tantalum sinterizzata viene arrotolata e trattata per ottenere un bersaglio tantalum.

 

Aree di applicazione

 

Gli obiettivi di Tantalum sono ampiamente utilizzati, principalmente includendo:

 

1. Industrie elettroniche e semiconduttori: utilizzati come materiali a strati barriera nella produzione di circuiti integrati, in particolare nella tecnologia di interconnessione in rame, dove l'elevato punto di fusione di Tantalum e la bassa resistenza lo rendono una scelta ideale.

 

2. Rivestimento anticorrosivo: grazie alla sua eccellente resistenza alla corrosione, il tantaLum viene utilizzato per ricoprire attrezzature chimiche e superfici metalliche esposte ad ambienti estremi per estendere la durata dell'attrezzatura.

 

‌ 3. Films ottici e optoelettronici‌: gli obiettivi di Tantalum possono essere utilizzati per realizzare film con proprietà ottiche specifiche e sono ampiamente utilizzati in dispositivi ottici, display e sensori‌.

 

‌ 4. Dispositivi medici‌: Tantalum ha una buona biocompatibilità ed è adatto per il rivestimento di impianti medici come piastre ossee e protesi articolari per ridurre le reazioni di rifiuto umano‌.