Poiché il molibdeno ha le caratteristiche di elevato punto di fusione, alta conducibilità, bassa impedenza specifica, buona resistenza alla corrosione e protezione ambientale, il bersaglio di molibdeno è ampiamente utilizzato nell'industria elettronica, come display a pannelli piatti, celle solari a film sottile, elettrodi e materiali di cablaggio. Ora fai sapere all'editore e a tutti le caratteristiche del bersaglio molibdeno nei prodotti Tungsten-Molybdenum?
1. Target di molibdeno ad alta purezza
Maggiore è la purezza del bersaglio del molibdeno, migliore è la performance del film sputata. In generale, la purezza del bersaglio di sputtering molibdeno è necessaria per raggiungere almeno il 99,95%. Tuttavia, con il continuo miglioramento della scala dei substrati di vetro nell'industria LCD, è necessaria la lunghezza del cablaggio per essere estesa e la larghezza della linea deve essere più sottile. Al fine di garantire l'uniformità del film e la qualità del cablaggio, anche i requisiti di purezza del bersaglio di sputtering molibdeno sono migliorati di conseguenza. Pertanto, secondo la scala del substrato di vetro sputtered e dell'ambiente dell'applicazione, è necessaria la purezza del bersaglio di sputtering molibdeno per essere al 99,99% -99. 999% o persino superiore.
2. Target di molibdeno ad alta densità
Durante il processo di rivestimento sputtering, quando il bersaglio sputtering a bassa densità viene bombardata, il gas nei pori interni del bersaglio viene improvvisamente rilasciato, causando particelle bersaglio su larga scala o schizzi di microparticelle o dopo che il film è formato, il film viene bombardato da elettroni secondari per formare schizzi di microparticelle. L'aspetto di queste particelle ridurrà la qualità del film. Al fine di ridurre i pori nel solido target e migliorare le prestazioni del film, il bersaglio sputtering è generalmente richiesto per avere una densità più elevata. Per gli obiettivi di sputtering di molibdeno, la densità relativa dovrebbe essere superiore al 98%.
3. Dimensione del grano
Generalmente, gli obiettivi di sputtering molibdeno sono strutture policristalline e la dimensione del grano può variare dai micron a millimetri. Studi sperimentali hanno dimostrato che il tasso di sputtering di bersagli a grana su scala fine è più veloce di quello dei grani grossolani e la distribuzione dello spessore dei film depositati è più uniforme per gli obiettivi con differenze di dimensioni della grana più piccole.
4. Direzione di cristallizzazione
Durante lo sputtering, gli atomi bersaglio sono semplicemente preferenzialmente sputati lungo la direzione della disposizione esagonale degli atomi. Pertanto, al fine di raggiungere il tasso di sputtering, la velocità di sputtering viene spesso aumentata modificando la struttura cristallina target. La direzione di cristallizzazione del bersaglio ha anche una grande influenza sull'uniformità dello spessore del film sputato. Pertanto, ottenere una struttura target con un certo orientamento cristallino è cruciale per il processo di sputtering del film.
5. Conducibilità termica ed elettrica
I produttori di prodotti di tungsteno e molibdeno ti dicono che prima dello sputtering, il bersaglio di sputtering molibdeno deve essere collegato con il telaio di rame (o altri materiali) privo di ossigeno per garantire che la conduttività termica ed elettrica del bersaglio e del telaio sia buono durante il processo di spuggio. Dopo il legame, è necessario passare l'ispezione ad ultrasuoni per garantire che l'area non di legame tra i due sia inferiore al 2%, in modo da soddisfare i requisiti di sputtering ad alta potenza senza cadere.
6. Performance target di molibdeno
PURITÀ: molibdeno puro maggiore o uguale al 99,95%, molibdeno ad alta temperatura maggiore o uguale al 99% (con aggiunti elementi della terra rara)
Densità: maggiore o uguale a 10,2 g/cm3
Punto di fusione: 2610 gradi
Specifiche: target rotondo, target piastra, target rotante
Ambiente applicabile: ambiente sotto vuoto o ambiente di protezione del gas inerte, il molibdeno puro nei prodotti di tungsteno-molibdeno è più elevato, resistenza ad alta temperatura di 1200 gradi, la lega di molibdeno è più elevata e resistenza ad alta temperatura di 1700 gradi.